Růst magnetronově naprašovaných tenkých vrstev TiO2 studovaný pomocí rozptylu rtg záření

Abstrakt

Růst magnetronově naprašovaných tenkých vrstev TiO2 studovaný pomocí rozptylu rtg záření

Klíčová slova

• Growth
• magnetron
• sputtered
• films
• studied
• X-ray
• scattering