Výzkum reaktivity tenkých vrstev Pd-Sn připravených magnetronovým naprašováním a jejich charakterizace fotoelektronovými spektroskopiemi

Abstrakt

Výzkum reaktivity tenkých vrstev Pd-Sn připravených magnetronovým naprašováním a jejich charakterizace fotoelektronovými spektroskopiemi

Klíčová slova

• Photoelectron-spectroscopic
• reactivity
• investigation
• films
• prepared
• magnetron
• sputtering