Tok iontů na substrát během depozice tenkých vrstev v systému s plazmatickou tryskou

Abstrakt

Tok iontů na substrát během depozice tenkých vrstev v systému s plazmatickou tryskou

Klíčová slova

• Measuring
• Current
• Substrate
• During
• Deposition
• Films
• Hollow
• Cathode
• Plasma
• Jet