Počítačové studium interakce plazma-pevná látka v nízkoteplotním plazmatu: povrchové procesy při vyšších tlacích

Abstrakt

Počítačové studium interakce plazma-pevná látka v nízkoteplotním plazmatu: povrchové procesy při vyšších tlacích

Klíčová slova

• Computational
• study
• plasma-solid
• interaction
• low-temperature
• plasma
• Surface
• processes
• higher
• pressures
• Article