Vliv vrstev nitridu křemíku na difúzní délku minoritních nosičů v Si

Abstrakt

Vliv vrstev nitridu křemíku na difúzní délku minoritních nosičů v Si

Klíčová slova

• Effect
• Silicon
• Nitride
• Layers
• Minority
• Carrier
• Diffusion
• Length
• Wafers