Srovnání tenkých filmů připravených plazmovou oxidací a magnetronovým naprašováním

Abstrakt

Srovnání tenkých filmů připravených plazmovou oxidací a magnetronovým naprašováním

Klíčová slova

• Comparison
• Dioxide
• Films
• Prepared
• Plasma
• Oxidation
• Magnetron
• Reactive
• Sputtering