Rtg difrakční studium krystalizace vrstev TiO2 připravených magnetronovým naprašováním

Abstrakt

Rtg difrakční studium krystalizace vrstev TiO2 připravených magnetronovým naprašováním

Klíčová slova

• X-ray
• scattering
• study
• crystallization
• magnetron
• sputtered
• films