Defekty v nanokrystalických tenkých vrstvách Nb: vliv teploty naprašování

Abstrakt

Defekty v nanokrystalických tenkých vrstvách Nb: vliv teploty naprašování

Klíčová slova

• Defects
• Nanocrystalline
• Films
• Effect
• Sputtering
• Temperature