Sondová diadnostika sondového výboje v magnetronu během depozice TiOx vrstev

Abstrakt

Sondová diadnostika sondového výboje v magnetronu během depozice TiOx vrstev

Klíčová slova

• Time-resolved
• probe
• diagnistics
• pulsed
• magnetron
• discharge
• during
• deposition
• layers