Sondová diagnostika v Ar planárním magnetronu s rektivní příměsí dusíku a kyslíku

Abstrakt

Sondová diagnostika v Ar planárním magnetronu s rektivní příměsí dusíku a kyslíku

Klíčová slova

• Langmuir
• probe
• diagnostics
• planar
• magnetron
• discharge
• reactive
• admixtures
• O2