Nízkoteplotní depozice tenkých vrstev na polymerní substráty pomocí systému s plazmatickou tryskou za nízkého a atmosférického tlaku.

Abstrakt

Nízkoteplotní depozice tenkých vrstev na polymerní substráty pomocí systému s plazmatickou tryskou za nízkého a atmosférického tlaku.

Klíčová slova

• temperature
• deposition
• films
• polymer
• substrates
• pressure
• atmospheric
• pressure
• plasma-jet
• system