Studium systému s plazmatickou tryskou užitého pro depozici ZnO tenkých vrstev za atmosférického tlaku.

Abstrakt

Studium systému s plazmatickou tryskou užitého pro depozici ZnO tenkých vrstev za atmosférického tlaku.

Klíčová slova

• Investigation
• Atmospheric
• Pressure
• Plasma-Jet
• System
• Deposition
• Films