Optická emisní spektrometrie plazmatu v surfatronu ve směsích Ar+O2 a N2+O2

Abstrakt

Optická emisní spektrometrie plazmatu v surfatronu ve směsích Ar+O2 a N2+O2

Klíčová slova

• Optical
• emission
• spectroscopy
• surfatron
• generated
• plasma
• Ar+O2
• N2+O2
• mixtures