O přednostní orientaci ve vrstvách Ti1-xAlxN and Ti1-x-yAlxSiyN thin films

Abstrakt

O přednostní orientaci ve vrstvách Ti1-xAlxN and Ti1-x-yAlxSiyN thin films

Klíčová slova

• preferred
• orientation
• Ti1-xAlxN
• Ti1-x-yAlxSiyN
• films